氮化鋁鎵(AlGaN)是由氮化鋁和氮化鎵混合所組成的半導體。
AlxGa1−xN的能隙可以從
4.3eV(xAl=0)到6.2eV(xAl=1)。
AlGaN是發光二極管的材料,可以在藍光到紫外线的範圍內運作,其波長最低可到遠紫外線的250 nm,有些記載的資料甚至可以低到222 nm,也用在藍光激光二極管內。
AlGaN也可以用於紫外线輻射的偵測器,以及用在AlGaN/GaN的高电子迁移率晶体管內。
AlGaN常和氮化鎵或氮化鋁一起使用,以形成异质结。
AlGaN層常會長晶在氮化鎵上,基質是蓝宝石或(111)的矽,幾乎都會有額外的氮化鎵層。
安全性和毒性
有關氮化鋁鎵的毒性目前尚未完全研究。其粉末會刺激皮膚、眼睛和肺部。有關氮化鋁鎵製備原料(像三甲基镓和氨)的議題以及標準有机金属化学气相沉积法來源的工業衛生監控,目前已有文獻对其综述。
參考資料
外部連結
*[http://www.semiconductor-today.com/features/PDF/SemiconductorToday_Mar2014-Gallium-nitride.pdf Gallium nitride quantum dots and deep UV light emission.] GaN in AlN
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