氮化鋁銦鎵(AlGaInN)是以氮化鎵為基礎的化合物半導體,是氮化鎵、氮化鋁、氮化銦的混合物,常用磊晶成長的方式製成,像是有机金属化学气相沉积法(MOCVD)、分子束外延(MBE)、脉冲激光沉积(PLD)等方式。此材料用在特別的光電應用中,像是藍光雷射LED及藍光LED等。透過調整鋁、銦、鎵的比例,可以調整其能隙等參數。
安全性和毒性
有關氮化鋁銦鎵的毒性目前尚未完全研究。其粉末會刺激皮膚、眼睛和肺部。有關氮化鋁銦鎵製備原料(像三甲基铟、三甲基镓和氨)的議題以及標準有机金属化学气相沉积法來源的工業衛生監控,目前已有文獻回顧。
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*氮化銦鎵
*氮化鋁鎵
*氮化鋁銦
參考資料
外部連結
*(13 - The AlGaInN material system and ultraviolet emitters)
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