矽鍺
矽鍺(,縮寫為SiGe),是一種合金,依矽和鍺的莫耳比可以表示成SixGe1-x。常被用作積體電路(IC)中的半導體材料,可做成异质结双极性晶体管或CMOS電晶體中的應變誘發層(strain-inducing layer)。IBM公司于1989年在工业生产中引入了硅锗合金相关技术,这一新技術使混合訊號積體電路和類比積體電路的設計与生产多了一項選擇。 製作 使用傳統的矽半导体器件制造技術,即可在晶圓上形成SiGe。在CMOS製程方面,Si…
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矽鍺(,縮寫為SiGe),是一種合金,依矽和鍺的莫耳比可以表示成SixGe1-x。常被用作積體電路(IC)中的半導體材料,可做成异质结双极性晶体管或CMOS電晶體中的應變誘發層(strain-inducing layer)。IBM公司于1989年在工业生产中引入了硅锗合金相关技术,这一新技術使混合訊號積體電路和類比積體電路的設計与生产多了一項選擇。 製作 使用傳統的矽半导体器件制造技術,即可在晶圓上形成SiGe。在CMOS製程方面,Si…