氟化氩激光器
氟化氩激光器（ArF激光器）是准分子激光器的一种特定类型，有时更准确地称为激基复合物激光器（exciplex laser）。其波长为193 nm，属于深紫外激光器，广泛用于半导体集成电路制造、眼科手术、微加工与科学研究。“Excimer”是“激发态二聚体”（excited dimer）的缩写，而“exciplex”则是“激发态复合物”（excited complex）的缩写。准分子激光器通常使用稀有气体（如氩、氪或氙）与卤素气体（如氟或…
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氩
氬（），是化學元素，化學符號*'，原子序數18，位在週期表的第18族，常溫下是無色無味的稀有气体。氬佔大氣體積0.934%（9340 ppmv），是地球大氣層第三多的氣體，是水蒸氣的兩倍以上（平均4000 ppmv左右，但變化很大）、二氧化碳（400 ppmv）的23倍之多、氖（18 ppmv）的500倍以上。氬是地殼含量中最豐富的惰性元素，在地殼中佔0.00015%。 已知的氬同位素共有26種，包括氬-29至氬-54。地球大氣大部分氬…
氬的同位素
氬（原子量：39.948(1)）共有25個同位素，其中有3個是穩定的。 圖表 |- | 29Ar | style="text-align:right" | 18 | style="text-align:right" | 11 | 29.04076(47)# | | 2 | 27S | 5/2+# | | |- | 30Ar | style="text-align:right" | 18 | style="text-align:right…