晶体取向是指具体晶体或其表面相对于其内部结构的方向。它描述了外表面是否平行于晶胞的特定晶面(例如立方体表面),或者晶体整体的取向。该参数通常使用密勒指数表示,例如(111)面或(110)面(以及平行或垂直于这些平面的取向)。
晶体取向的概念仅适用于单晶。这不仅要求物质为固体,还要求其在整体范围内具有统一的结构取向。对于多晶固体,所有取向的集合被称为織構,通常通过来描述。
起源
具有确定取向的单晶材料主要有两种来源:
- 天然晶体,具有明显的取向,例如立方晶系的NaCl晶体,它们能结晶形成宏观立方体。
- 利用晶種人工制造的单晶,主要采用柴可拉斯基法或区域熔炼法。
测量
若要确定未知取向单晶的具体方向,可采用多种方法。
对于通过柴可拉斯基法生产的晶体,其取向可根据外表面的垂直“接缝”来识别,这些接缝从原本圆柱状的晶体主体中凸显出来。尽管在生产过程中晶体因持续旋转而趋于圆柱对称,但由于原子在特定的对称方向上更容易附着,从而形成额外的沉积。根据垂直旋转轴的取向(即晶体中的[100]、[110]或[111]方向),圆周上会形成三条或四条接缝。
晶体取向的定量测量通常采用X射线衍射法,主要是劳厄法。对于微小晶体,则使用电子显微镜的衍射技术,例如背向散射電子繞射技術(EBSD)、Kossel图或菊池图。
另一种定性测量方法是对抛光后的晶体表面进行蚀刻。此过程会形成“蚀刻坑”。根据表面的取向,这些蚀刻坑呈现为倒置的、具有三或四重旋转对称性的空心棱锥,即底面为三角形或正方形(矩形)。若需避免过度蚀刻,必须在显微镜下进行此项观察。
应用
具有确定取向的晶体被广泛应用于石英谐振器。晶体取向决定了振荡頻率的温度稳定性,从而影响由其构建的计时器(如手表)的长期测量精度。“AT切型”是其中一种优选配置。
在科学研究中,需要不同取向的单晶来进行测量,以确定材料能带模型的细节。如果配合偏振光光谱学,并使光线的已知方向与晶体取向对齐,就可以有针对性地测定材料各对称方向上的能带特性。
在工业技术中,了解晶体取向也至关重要。半导体技术的基础材料(衬底)是高纯度硅单晶,它们被加工成薄片(晶圓)。对于各种加工工艺,了解晶体取向十分必要。例如,在通过离子注入进行掺杂时,离子穿过衬底可能会形成择优取向,即沟道效应。这会妨碍精确的工艺控制,因为注入深度的分布不再能够精确计算。解决方法是将衬底轻微倾斜,这样只有离子在晶体中的可计算散射起作用——例如,标准的(100)硅晶圆通常会倾斜约7°,或者在表面涂覆一层薄的二氧化硅散射层。
另一个例子是微系统技术中利用氢氧化钾溶液对硅进行的依赖晶体取向的湿法蚀刻。通过改变衬底的晶体取向及其表面和掩模,可以制造出不同的机械元件。
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