氟化氪激光器
氟化氪激光器（KrF激光器，）是发射准分子激光的一种激光器，有时更准确地称为激基络合物激光器。其波长为248纳米，属于深紫外激光，广泛用于制造半导体集成电路、工业微加工及科学研究。术语准分子（excimer）是“激发态二聚体”（excited dimer）的缩写，而激基络合物（exciplex）则是“激发态复合物”（excited complex）的缩写。准分子激光器通常包含稀有气体（如氩、氪或氙）与卤素气体（如氟或氯）的混合气体。在适…
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氪
'（），是一種化學元素，其化學符號为'，原子序數为36，原子量為，是一种无色、无臭、无味的稀有气体，在大气中含有痕量，可通过分馏从液态空气中分离，常用于制作荧光灯。氪正如其他惰性气体一样，不易与其他物质产生化学作用，已知的化合物有二氟化氪（KrF2）。 正如其他稀有气体，氪可用于照明和摄影。氪发出的光有大量谱线，在等离子态时更强，这使氪等离子体成为制造高功率气体激光器（离子激光器、准分子激光器）的重要材料。可用作主动激光介质。氪放电管功…