极紫外光刻
又稱作超紫外線平版印刷術, 是一种使用極紫外光波長的光刻技術，目前用于7納米以下的先進製程，于2020年開始廣泛應用 。 背景 DUV微影製程 晶圓製造過程裡有一道程序是將設計好的電路圖案(Pattern)縮小轉印到晶圓上，此道製程便稱之為微影}-，7奈米以前的製程使用248或193奈米波長的光做為光源來進行微影。早期市面上DUV微影製程機台的供應商以Canon以及Nikon為主， 浸润式光刻出現後DUV微影製程機台改由艾司摩爾所獨霸。…
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极紫外辐射
极紫外辐射（）又称极紫外光或高能紫外线辐射，簡稱EUV、XUV，是波长在124nm到10nm之间的电磁辐射，对应光子能量为10eV到124eV。自然界中，日冕会产生EUV。人工EUV可由等离子源和同步辐射源得到。主要用途包括光电子谱、对日EUV成像望远镜及光微影技術等。 EUV是最易被空气吸收的谱段，因此其传输环境需高度真空。 EUV的产生 中性原子或固体无法发射EUV。产生EUV，首先要发生电离。只有被带多个正电荷的离子束缚的电子才能…
極紫外探測器
極紫外探測器（，縮寫：EUVE）是於1992年6月7日發射，使用於紫外線天文學的太空望遠鏡。EUVE是第一架有能力偵測波長範圍在7至76奈米短波紫外線輻射的儀器。這顆衛星在2001年1月31日 停止觀測之前，對全天空所做的巡天觀測總共編錄了801個天體。它於2002年1月30日重返大氣層。 任務目標 任務目標包括使用幾個不同頻率範圍的極紫外線觀察： 在極紫外線的波段對整個天空進行巡天的觀測。 在兩個單獨的極紫線頻道上做深入的全面調查。 …