微系统技术（micro system technology，MST），是微技术的一个分支，涉及微系统的教学、研究開發以及制造。其中包括将微机械或元件与微电子电路组合并整合在一个复杂的系统中。
另一个分支是，其主要研究在微结构设备中发生的物理或化学过程。
通过微系统技术或微技术制造的部件或设备也被称为微系统或微机电系统（MEMS）。
工艺
在微系统中，传感器、执行器与数据处理系统协同工作。因此，制造复杂的微系统需要结合不同微技术领域的工艺与方法，包括微机械、微流控、、（传感器、执行器）以及微电子学（数据处理、电子接口）本身。系统的整合既可以通过分立元件进行（参见集成电路封装），也可以在结晶硅或砷化镓等半导体材料中进行单片集成。所使用的制造工艺多种多样，除了典型的薄膜技术外，还使用复型技术（如LIGA）、蚀刻技术等。微系统技术几乎使用所有类型的材料，如金属、半导体、陶瓷、溶膠凝膠材料、塑料等。
学科教育
微系统技术与微技术原则上由科学家与工程师进行实践。然而，也存在针对的职业培训。
微系统技术可以在各大学院、大学或研究机构进行学习。物理学基础通常被视为基本前提。类似专业的名称包括纳米技术、纳米工程等。
奖项与荣誉
IEEE（EDS）颁发诸如“罗伯特·博世微纳机电系统奖”（Robert Bosch Micro and Nano Electro Mechanical Systems Award）等奖项，以表彰在MEMS领域的杰出工作。
应用领域
典型的应用为广泛领域内的传感器与执行器，如汽車產業、电气工程、信息技术、交通工程、以及医疗技术。
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文献
技术文章
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专业期刊
- 《微机电系统杂志》(JMEMS) 由IEEE电子器件协会出版
- [https://www.springer.com/journal/542 微系统技术]（ ），施普林格出版社
- [https://www.mdpi.com/journal/micromachines 微型机械] ( MDPI )
教科书
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延伸阅读
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- Monografien aus der Springer Serie [https://www.springer.com/series/11483 Microsystems and Nanosystems]
参考
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