氮氧化硅

氧氮化硅是一种化学式为SiOxNy的陶瓷材料。在无定形形态下，其组成可在SiO2（二氧化硅）与Si3N4（氮化矽）之间连续变化，但唯一已知的中间晶相为Si2N2O。 它以稀有矿物的形式存在于某些陨石中，也可在实验室中合成。

特性
（PDCs）。利用陶瓷先驱体聚合物，可采用常用于聚合物的成型技术制备复杂形状的致密或多孔氧氮化硅陶瓷。

应用
可采用多种等离子体沉积技术在硅片上生长氧氮化硅薄膜，作为微电子领域中替代二氧化硅和氮化矽的介电层，具有漏电流低和热稳定性高的优点。这些薄膜呈无定形结构，其化学组成可大幅偏离Si2N2O。通过调节薄膜中的氮/氧比，可将折射率在~1.45（二氧化硅）与 ~2.0（氮化硅）之间连续调节，此特性对制作组件（如）尤为有用。

氧氮化硅可掺入金属元素，最常见的是四元SiAlON化合物系列。含有镧系元素（如La、Eu或/和Ce）的四元氧氮化硅可用作荧光粉。

参考