光罩盒

Wikipedia · 2023-10-09 维基百科 👁 1 阅读

光罩盒（），意為儲存光罩的盒子，主要用于避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染。

分类
*光罩運輸盒：由光罩製作廠運輸至晶圓廠間運輸用；
*光罩廠區內部運輸盒；
*光罩機台傳送盒：將光罩送入機台的盒子，針對特定的設備使用不同的傳送盒。其中包括非SMIF系統和SMIF系統。