前開式晶圓傳送盒

前開式晶圓傳送盒(),是半導體製程中被用來保護、運送、並儲存晶圓的一種容器。

其內部通常可以容納25片的晶圓,其主要部分是一個能容納25片晶圓的前開式容器並有一個前開式門框,用于用于容器的开启与闭合。该装置用于12英寸晶圆厂的自动化传输系统中,作为晶圆搬运与存储的标准载具。

其最重要的功能是在每一台生產機台之間的傳送途中,保護晶圓避免受到外部環境中的微塵汙染,進而影響到良率。

评论 (0)

  • 还没有评论,来抢沙发吧。