六氟乙烷

六氟乙烷，是一種鹵代烴（化學式：C2F6），亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，难溶於水，微溶於醇。

物理性質
六氟乙烷在固相時擁有兩種晶型，不同相變溫度已於科學文獻中列明，最新的文献将相變溫度定於103 K(-170 °C)。在低於103 K的情況下，它會有一個稍微無序的結構，在相变点以上，會形成体心立方晶體結構。

六氟乙烷密度表：

六氟乙烷蒸氣相对空气的密度為4.823，21°C时比重為4.773（空氣是1），比容為0.1748 m³/kg。

用途
六氟乙烷可用於一種具多功能的蝕刻技術，常見於半導體之生產。它可用於金屬矽化物及金屬氧化物並相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外，它亦用於蝕刻矽上的二氧化硅。

六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用於製冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。

環境影響
六氟乙烷是一種造成溫室效應的氣體。它非常穩定，可以長時間停留在大氣層中，是一種非常強大的溫室氣體。它在大氣中的壽命約為10,000年，全球暖化潛勢是9,200（二氧化碳的係數是1）。它在大氣層的濃度是 3 pptv（在1750年時是 0 pptv）。然而，六氟乙烷在紅外線光譜下有強大的吸收勢。它的輻射驅動力是0.001 W/m²。它的臭氧破壞潛勢是0。

六氟乙烷已列入《IPCC國家溫室氣體清單》。

六氟乙烷的工業排放主要在以霍爾電解法生產鋁的過程中產生。

安全
六氟乙烷的相對密度比較高，可以填滿地面空間範圍，高浓度时會導致窒息。其他健康影響與四氟甲烷相似。

參見

• 全氟化碳
• 四氟甲烷
• 八氟丙烷
• 乙烷
• 1,1,1,2-四氟乙烷
• 六氯乙烷

參考資料及注釋
註釋
一般參考
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外部連結

• [https://web.archive.org/web/20071021164228/http://www.wipo.int/pctdb/en/wo.jsp?wo=1996009271 六氟乙烷的純化過程]
• [http://www.epa.gov/highgwp/aluminum-pfc/pdf/TMSProtocol_02_06.pdf 量度四氟甲烷及六氟乙烷在原鋁生產的議定書]
• [http://www.springerlink.com/content/c276207r1g4v2524/ 六氟乙烷從頭開始振動分析]
• [https://web.archive.org/web/20070928184306/http://www.climatevision.gov/sectors/aluminum/pdfs/pfc_measurement.pdf 量度四氟甲烷及六氟乙烷在原鋁生產中排放的議定書]
• [http://adsabs.harvard.edu/abs/1999JChPh.110.1650Z 固體六氟乙烷的動力學和結構]
• [http://www.chemnet.ru/rus/handbook/ivtan/163.html 在chemnet.ru的熱化學數據表]
• [http://chemapps.stolaf.edu/jmol/jmol.php?model=FC%28F%29%28F%29C%28F%29%28F%29F Jmol六氟乙烷三維圖像]