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氟甲烷

氟甲烷,也稱為甲基氟、氟利昂41、HFC-41,其化學式為CH3F,在常溫常壓下是無毒、可液化的可燃氣體,是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半導體及電子產品的製程中,在射频场下氟甲烷會溶解氟離子,可選擇性的蝕刻矽化合物的薄膜,即反应离子刻蚀。 性質 在氟甲烷中,C-F鍵的鍵能為552 kJ/mol,其鍵長為0.139 nm(典型的C-F鍵鍵長為0.14 nm)。分子構型為四面體。 氟甲烷25度時的比熱Cp為38.171 J.mol−1.K−…