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乙二胺鄰苯二酚

乙二胺鄰苯二酚(Ethylenediamine pyrocatechol,EDP), 也被稱為濕蝕刻溶液(EPW),是一種用於矽的非等向性蝕刻溶液。典型的配方包括乙二胺、鄰苯二酚、吡嗪和水。本品具有致癌性以及非常強的腐蝕性。主要用於研究實驗室裡,在主流半導體製程裡並無應用。 參考文獻 * [https://web.archive.org/web/20161213113745/http://www2.ee.washington.edu/r…

四甲基乙二胺

四甲基乙二胺(TMEDA、TEMED),一种有机化合物,分子式 (CH3)2NCH2CH2N(CH3)2。它是由乙二胺所衍生出的一种化合物,即四个NH氢原子被四个甲基替换而得。该化合物为一种无色液体,长期存放可泛黄色,具有类似于腐败鱼肉的气味。 性质 无色有难闻腥味的液体。 加合。注意二(三甲基矽基)氨基鋰為雙齒加合物]] 用途 作为合成试剂 TMEDA 广泛用作金属离子的配体。可与许多金属卤化物(如氯化锌、碘化亚铜)生成稳定、易溶于有…