東京應化工業

東京應化工業株式會社(,,簡稱「TOK」)是一家總部位於日本神奈川縣川崎市的化學公司,於東京證券交易所Prime市場上市。公司專營半導體製造所需的電子功能材料與高純度化學品,核心產品為光阻劑,即半導體製造不可或缺的感光性化學材料。據公司資料,2024年其半導體光阻劑的整體市占率約為24.7%,居全球之首;其中準分子雷射用的KrF光阻劑與汞燈用的g/i線光阻劑市占率皆為全球第一,極紫外光(EUV)光阻劑則居全球第二。其產品涵蓋光阻劑、顯影液、稀釋液與剝離液等電子功能材料與高純度化學品。1968年起,公司開發並銷售日本首款國產半導體光阻劑,逐步確立其在感光性材料領域的地位。

歷史
創立與早期
東京應化工業的前身為創辦人向井繁正於1936年4月在東京市品川區成立的「東京應化研究所」,1940年10月改組為「東京應化工業株式會社」。1962年,公司開始製造印刷電路板用光阻劑TPR,跨入感光性材料領域。

海外擴張與先進製程
1987年,公司於美國加州設立子公司奧卡美國(現TOK America),並於1993年5月在俄勒岡州希爾斯伯勒()啟用首座海外工廠,生產i線半導體光阻劑與高純度化學品。為因應先進製程對光阻劑的需求,公司近年投入次世代2奈米製程所需材料的研發,並擴充韓國等地的產能。2024年6月,公司與新創企業Carbon Xtract締結共同開發協議,合作開發以氣體分離膜從大氣中捕集二氧化碳的直接空氣捕集(,DAC)技術,由東京應化負責分離膜的開發與量產。2025年2月,公司將位於德國柏林、專長感光性光阻與奈米壓印材料的micro resist technology收為全資子公司,以強化歐洲市場布局。2026年2月,公司宣布對英國Irresistible Materials進行策略性投資並共同開發,取得其多重觸發光阻(MTR)技術。

產品與技術
光阻劑
光阻劑是半導體製造不可或缺的感光性化學材料。製造晶片時,光阻劑先塗布於晶圓表面,再透過曝光將光罩上的電路圖案轉印至晶圓,並經顯影、蝕刻等步驟形成電路。由於EUV曝光波長極短、抵達晶圓的光子數遠少於既有的深紫外光(DUV)製程,光阻劑須精確調配光酸產生劑等成分,技術門檻甚高。

海外
東京應化的海外據點包括美國的TOK America(1987年設立,俄勒岡州希爾斯伯勒廠1993年投產)、台灣的TOK Taiwan(1998年設立,總部設於新竹市、並於苗栗縣銅鑼鄉設廠)、與三星物產合資、2012年成立的韓國TOK Advanced Materials(廠房位於仁川廣域市松島),以及2002年起設於上海的中國據點。

市場與競爭
半導體光阻劑市場長期由少數日本廠商主導。據市場研究機構集邦科技(TrendForce)2025年的資料,東京應化與JSR等日本廠商合計約占全球91%的市場。東京應化依2024年出貨量自陳其半導體光阻劑整體市占約24.7%、居全球之首。在EUV光阻劑方面,東京應化自陳居全球第二。其中JSR曾於2017年與2020年參與美國Inpria公司的募資,其後將其完全收購,藉以取得金屬氧化物光阻(MOR)技術。

公司的營收以光阻劑與高純度化學品等電子材料為主,並以海外市場為主要銷售地,2025年12月期海外客戶銷售約占85%;在財務報告上,公司列為單一營運分部。截至2024年12月底,公司合併員工數為1,996人。公司於2024年2月制定中期目標,計劃將集團整體的二氧化碳排放量在2030年較2019年減少30%,以對齊《巴黎協定》的1.5°C目標。公司並就範疇一、範疇二與範疇三的溫室氣體排放進行盤查與揭露。

資料來源

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