2,2,4,4-四甲硅烷基戊硅烷()是无机化合物壬硅烷(nonasilane)的一种支链异构体,化学式Si9H20,用于在低温通过化学气相沉积形成外延硅和多晶硅。该化合物的热稳定性与环己硅烷相似。
合成
该化合物可由Si(SiH3)4通过清洁的硼硅酸盐表面或路易斯酸二异丁基氢化铝(i-Bu2AlH)进行选择性催化歧化制备:
: 2 Si5H12 → Si9H20 + SiH4
参考文献
2,2,4,4-四甲硅烷基戊硅烷()是无机化合物壬硅烷(nonasilane)的一种支链异构体,化学式Si9H20,用于在低温通过化学气相沉积形成外延硅和多晶硅。该化合物的热稳定性与环己硅烷相似。
合成
该化合物可由Si(SiH3)4通过清洁的硼硅酸盐表面或路易斯酸二异丁基氢化铝(i-Bu2AlH)进行选择性催化歧化制备:
: 2 Si5H12 → Si9H20 + SiH4
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