十二氯新戊硅烷

Wikipedia · 2026-06-19 维基百科 👁 1 阅读

十二氯新戊硅烷（），又称四(三氯硅基)硅烷，是一种化学式为Si(SiCl3)4的化合物。它是一种白色固体，与水剧烈反应，在300°C以上分解。该化合物在半导体工业中被用作Si(SiH3)4的前体，用于获得光伏电池的硅层，同时也是制备硅基聚合物或有机硅复合材料的研究对象。