岛状生长

岛状生长（Island growth）是薄膜沉积与化学气相沉积的一种物理模型。

简介
当原子缓慢沉积到平坦的表面时，第一个原子会在该表面进行隨機漫步。随后第二个原子沉积，它极有可能最终与第一个原子相遇。一旦两个原子相遇，它们可能结合形成质量更高且随机游走速度更低的微粒。由于结合后的微粒比此前更稳定且迁移率更低，因此被称为“岛”。后续沉积在衬底上的原子最终会与该岛相遇并结合，进一步增加其尺寸和稳定性。最终，岛可以生长并覆盖整个衬底，形成单个大晶粒。

原子沉积速度越快，在大尺寸稳定岛形成前，衬底上的原子数量就越多。随着这些原子相遇，它们会在有机会迁移到远处的岛之前与邻近原子结合。通过这种方式，大量独立的岛得以形成并能独立生长。最终，这些独立的岛会生长成为最终薄膜中相互独立的晶粒。

岛状生长模型用于解释为何快速沉积技术（如溅射沉积）会产生具有许多随机取向晶粒的薄膜，而慢速沉积技术（如分子束外延）则倾向于产生具有更均匀结构的大晶粒。

相关

• 斯特兰斯基-克拉斯坦诺夫生长

参考