特外曼-格林干涉仪

特外曼-格林干涉仪（Twyman–Green interferometer）是迈克耳孙干涉仪的一种变体，主要用于检测光学元件。它由（Frank Twyman）和阿瑟·格林（Arthur Green）于1918年提出。特外曼-格林干涉测量法的优点在于非接触式全场测量，能够实现与激光波长相当的高分辨率测量。然而，其缺点在于装置复杂昂贵，校准复杂，对振动敏感，且要求样品表面光洁度高、尺寸小。

图1展示了一台用于检测透镜的特外曼-格林干涉仪装置。来自激光器的光线经过发散透镜（图中未显示）扩束，然后被准直为平行光束。在光路中放置一个凸球面镜，使其曲率中心与待测透镜的焦点重合。最终的出射光束由成像系统记录以供分析。

迈克耳孙干涉仪中的固定反射鏡在特外曼-格林干涉仪中是可以旋转的。此外，虽然迈克耳孙干涉仪的光源通常是面光源（extended source，尽管也可以是激光），但特外曼-格林干涉仪的光源始终是点光源（point-like source）。旋转其中一面反射镜会导致干涉图样中出现直干涉条纹；通过观察当光学元件放置在干涉仪的一个臂（arm）中时条纹图案的变化，可以利用这种条纹分布来检测光学元件的质量。

参考