氟氧化钇是一种无机化合物，化学式为。在一般条件下，该化合物是无色固体。
合成
- 在真空中将氟化钇的水合晶体加热到900 °C，使其分解：
:: \mathsf{2YF_3\cdot 1/2H_2O \ \xrightarrow{\tau, 900^oC}\ YOF + YF_3 + 2HF }
- 在800 °C用过热蒸汽水解氟化钇：
:: \mathsf{2YF_3 + H_2O \ \xrightarrow{800^oC}\ YOF + 2HF }
物理性质
氟氧化钇会形成四方晶系的晶体。它的晶格参数是a = 0.3910 nm，c = 0.5431 nm。根据六方晶系，晶格参数是a = 0.38727 nm，c = 1.897 nm，Z = 6。
应用
稳定氟氧化钇用于等离子体装备的内壁。
参考文献
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