一氟硅烷 是一种无机化合物 ，化学式SiH3F 。
制备
一氟硅烷可以由氟甲烷和硅 反应而成。 它也可以由氯硅烷 和三氟化锑 反应而成。
::\mathrm{ 3 \ SiH_3Cl + SbF_3 \ \longrightarrow \ SiH_3F + SbCl_3 }
性质
一氟硅烷是一种无色气体。
参考资料
一氟硅烷 是一种无机化合物 ，化学式SiH3F 。
制备
一氟硅烷可以由氟甲烷和硅 反应而成。 它也可以由氯硅烷 和三氟化锑 反应而成。
::\mathrm{ 3 \ SiH_3Cl + SbF_3 \ \longrightarrow \ SiH_3F + SbCl_3 }
性质
一氟硅烷是一种无色气体。
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