{{Chembox
| Name =
| ImageFile = Trifluorsilan.svg
| Section1 =
| Section2 = {{Chembox Properties
| 化学式 = SiHF3
| Appearance= 无色气体
| MolarMass = 86.09
| Density = 3.52 g·L 反应而成。
:\mathrm{SiHCl_3 + SbF_3 \longrightarrow SiHF_3 + SbCl_3}
:\mathrm{4 \ SiHCl_3 + 3 \ TiF_4 \longrightarrow 4 \ SiHF_3 + 3 \ TiCl_4}
三氟硅烷也可以由二氟硅烷的热分解取得。 这个反应是由在20世纪初提出的。
性质
三氟硅烷是一种无色易燃气体，会水解并在室温下缓慢分解。当加热到400℃时，它迅速分解为氢、硅和四氟化硅。它恢分解醇和醚，并降低浓硝酸的浓度。它与空气反应，形成爆炸性气体的混合物。
参考资料
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