乙矽烷

乙矽烷(),又稱矽乙烷,是一種有毒的化合物,分子式為Si2H6,在室溫下为气態。它的性質與乙烷很類似,都是無色易燃的氣體,但是它的矽-矽鍵比乙烷的碳-碳鍵還來的弱,因此比乙烷還不穩定。乙矽烷通常是氫很好的來源,只要經過簡單的化學反應就可以得到氫。另外它也可以用來以薄膜沉積製備純矽,是半導體工業重要的特用電子級氣體之一。

制备
乙硅烷通常由硅化镁的水解而成。反应会产生甲硅烷、乙硅烷、甚至丙硅烷。该方法已被放弃用于生产甲硅烷,但它仍然可以用于生产乙硅烷。痕量乙硅烷的存在是该方法产生的甲硅烷自燃的原因(类似地,二磷烷通常是磷化氢样品中自发自燃的污染物)。

甲硅烷通过光化学反应和热分解,也可以产生乙硅烷。

它也可以通过 Si2Cl6 和氢化铝锂反应而成。

应用
甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解,会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。

乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中,Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。

参考资料
外部链接
*[https://web.archive.org/web/20100217052631/http://priorartdatabase.com/IPCOM/000153099/ Cost-Effective Method for the Synthesis of Polysilanes]
*[https://web.archive.org/web/20071019231738/http://www.praxair.com/praxair.nsf/1928438066cae92d85256a63004b880d/dc54d8219c44df028525655300802a42?OpenDocument Disilane]

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