短沟道效应

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短沟道效应（）是当金属氧化物半导体场效应管的导电沟道长度降低到十几纳米、甚至几纳米量级时，晶体管出现的一些效应。这些效应主要包括阈值电压随着沟道长度降低而降低、、载流子表面散射、、离子化和热电子效应。

参考文献
;引用

;書目
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