三甲基硅烷 Wikipedia · 2024-10-19 维基百科 👁 1 阅读 三甲基硅烷或三甲基硅化氢,是一种有机硅化合物,化学式为C3H10Si,结构简式(CH3)3SiH。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。参见二甲基硅烷三甲基硅基参考资料 #有机硅化合物 #三甲基硅基化合物 #碳硅烷 ← 上一篇 追捕弗雷德曼家族 下一篇 → 第17屆日本電影學院獎
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