超低穿透空氣過濾網(,縮寫:ULPA),主要是用來去除0.12µm (120納米) 以上的微粒,過濾效果約為DOP 99.995%以上,過濾網材質為特殊玻璃紙。測試這些過濾網的建議準則包括IEST-RP-CC001: HEPA and ULPA Filters、IEST-RP-CC007: Testing ULPA Filters、IEST-RP-CC022: Testing HEPA and ULPA Filter Media和IEST-RP-CC034: HEPA and ULPA Filter Leak Tests。
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參考資料
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